小柚

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个人总结

华中科技大学光学工程博士,专注半导体设备系统集成与精密运动控制研究。具备整机调试与误差补偿实战经验,曾在头部设备厂完成光刻机工件台核心模块开发。追求纳米级精度稳定性,致力于国产高端装备技术突破。

工作经历

系统工程师实习生

上海微电子装备

2025-07 - 2025-12
  • 参与 28nm 光刻机工件台系统的整机联调,负责激光干涉仪反馈回路的误差建模,将定位重复精度从±15nm 优化至±8nm。
  • 主导运动控制算法的参数整定,通过引入前馈补偿机制,使高速扫描过程中的跟随误差降低 35%,有效提升了曝光产率。
  • 协助解决真空环境下的热漂移问题,设计了一套基于多传感器融合的温度补偿方案,确保设备在 72 小时连续运行中稳定性达标。

初级算法工程师

武汉精测电子

2026-07 - 至今
  • 负责新型 OLED 检测设备运动控制模块的软件架构设计,重构了底层驱动接口,代码复用率提升至 60%。
  • 针对面板翘曲导致的对焦失败问题,提出基于机器视觉的自动调平策略,将一次对焦成功率从 85% 提升至 96%。

项目经历

超精密六自由度运动平台研发

华中科技大学精密测量实验室

2023-03 - 2024-12
  • 独立搭建基于压电陶瓷与音圈电机的混合驱动系统,实现了纳米级分辨率的六自由度微动控制,定位精度达到±5nm。
  • 开发了自适应 PID 控制算法,针对非线性摩擦和迟滞效应进行实时补偿,将系统阶跃响应时间缩短了 40%。
  • 完成了整套系统的误差分离与标定实验,编写了自动化测试脚本,将单次标定周期从 4 小时压缩至 45 分钟。

半导体晶圆缺陷检测光学系统设计

华中科技大学光电信息学院

2022-09 - 2023-06
  • 设计了大数值孔径暗场照明光路,显著提升了亚微米级颗粒缺陷的信噪比,检测灵敏度较传统方案提升 20%。
  • 利用 Zemax 进行公差分析,优化了透镜组装配工艺,使得系统在量产环境下的良率保持在 98% 以上。
  • 负责样机的集成调试,解决了多光源同步触发难题,实现了每分钟 120 片晶圆的在线检测速度。

教育背景

华中科技大学

博士 · 光学工程

2022-09 - 2026-06

华中科技大学

硕士 · 机械工程

2019-09 - 2022-06

技能专长

专业技能

光电系统集成 · 精密运动控制 · 误差分析与补偿 · 整机调试 · 自动化测试

仿真与工具

MATLAB/Simulink · Zemax · LabVIEW · ANSYS · Python

硬件开发

FPGA 逻辑设计 · 嵌入式系统 · 传感器选型 · 电路原理图设计

语言能力

英语 CET-6 (620 分) · 学术论文写作 · 技术文档撰写

校招简历进阶2026/7/11

半导体设备系统工程师简历范文(半导体设备/精密仪器校招)

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